由于使用超高頻聲波的緣故,超聲波液位儀分辨力達(dá)到顯微鏡水平.最近機械掃描超聲顯微鏡(SAM-Scanning Acoustic Microscope)發(fā)展很快,超聲頻率已使用0一ZGHz.橫向分辨力達(dá)到5一0.514m.
超聲顯微鏡的攝象原理是機械掃描型的C型法,也就是用聲透鏡會聚成很細(xì)窄超聲束,在透鏡焦域內(nèi)照射試樣面試樣的反射把超聲波變換成電信號,此信號與超聲束的機械掃描同步,二維顯示在CRT上.
反射形的超聲顯徽鏡主機配置圖象處理等控制系統(tǒng)、超聲波接收系統(tǒng)和機械掃描系統(tǒng),二個CRT上分別配備超聲象和光學(xué)象顯示,便于比較參考,

通過試樣的反射、透過超聲波液位儀強度和相位變化來反映試樣各點徽觀的彈性量的差異,所以超聲顯微鏡圖象可以提供與光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡圖象完全不同的情報.
據(jù)報道,超聲顯微鏡不僅用于材料內(nèi)部缺陷的檢側(cè)、半導(dǎo)體器件的觀察、利用表面彈性波進(jìn)行材料評價等方面.而且適用于生物、醫(yī)學(xué)等.即觀察生物試樣時,象光學(xué)顯救鏡不用染色便能得到對比度良好圖象一樣,不破壞試樣性質(zhì)就能觀察.可以實際觀察無染色狀態(tài)、某種瘤組織、梗塞心肌組織、無染色體等。甲狀膝組織切片的光學(xué)象(染色試樣)和超聲波液位儀象〔無染色試樣).盡管無染色,也能得到對比度良好的超聲象和深淺不同的光學(xué)象。http://www.hiaddragon.cn |